一 引言

　　在Cz法單晶的制備中，佑鑫石英石英坩堝作為熔硅的載體有著其不可替代的作用。了解石英坩堝的特性和掌握正確的方法對所有從事單晶制備的每一位從業(yè)人員來說都是非常重要的。

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　　二 石英坩堝的特性（主要介紹熱學(xué)性能和結(jié)晶性能）

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　　1. 熱學(xué)性能：

　　 熱學(xué)性能主要體現(xiàn)在以下幾個方面
　?。?）    它的形變點(diǎn)為1075℃
　?。?）    它的軟化點(diǎn)為1730℃
　　（3）    其最高連續(xù)使用溫度為1100℃，短時間內(nèi)為1450℃。

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　　2. 結(jié)晶性能

　　（1） 石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體（方石英）。佑鑫石英這個過程稱為再結(jié)晶，也稱為“失透”，通常也稱為“析晶”。

　?。?） 析晶通常發(fā)生在石英坩堝的表層，按照中國石英玻璃行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，佑鑫石英半導(dǎo)體工業(yè)用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時，其析晶層的平均厚度應(yīng)為﹤100μm 。

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